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德国弗莱贝格仪器中国分公司正式成立,助力半导体行业发展

蓝冠信息网 2020/06/17 13:30:12 点击 409 次
[导读] Freiberg Instruments成立于2005年,源自德国弗莱贝格工业大学。

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About Freiberg Instruments

  Freiberg Instruments成立于2005年,源自德国弗莱贝格工业大学。最初致力于开发一系列快速、无损的电气特性测试工具,用于测量少数载流子寿命、光电导率和电阻率等参数。2012年整合了Magnettech公司,该公司拥有25年ESR顺磁产品经验;2015年又整合了EFG的X射线衍射产品。随着全球市场的发展,Freiberg Instruments 2018年11月16日宣布,位于总部德国弗莱贝格新增的大楼竣工,新增大楼将使它的产量增加一倍。不仅为生产装配和测试区新增了现代化区域,而且还提供了全自动数控机床设备。我们将持续为全球用户提供更加优质的服务。


  自2005年成立以来,公司发展迅速,充满活力,汇聚了一批专业又极具创新的分析人才,产品广泛应用于剂量学、医学研究、材料研究、电子自旋共振、微电子学、光伏、发光年代测定和x射线衍射等诸多领域。是X射线衍射设备(XRD)、载体寿命表征系统(MDP)、电子顺磁共振波谱仪(ESR/EPR)、热释光/光释光阅读器(TL/OSL)和PID测试设备的创新型优质供应商。目前在全球23个国家安装了10000套以上的系统,全球拥有1000多个系统的设备安装基地。充分保障全球Freiberg用户服务。


关于弗莱贝格仪器(上海)有限公司

  Freiberg Instruments产品已在国内销售多年,在半导体等行业已积累一定的用户群。为了给国内的用户提供更好的全方位服务,日前,弗莱贝格仪器(上海)有限公司已正式成立。我们将为中国的市场和用户提供专业的、及时的服务。让Freiberg Instruments的更多产品应用到相关行业的各领域。同时,我们也欢迎各位新老用户能和我们联系,我们一定会及时提供各项产品的相关服务,您的需求就是我们努力的方向!


Freiberg Instruments CEO致辞

 Freiberg Instruments' CEO & Founder, Dr. Kay Dornich speaks of his enthusiasm, “Freiberg Instruments can see the exponential and enormous opportunities in China and South East Asia. I am thrilled to have an office opening that will surely offer more depth to our capabilities as we support growing Single Crystal Growth and Processing industries in the region.”


“Freiberg Instruments在中国和东南亚看到了巨大的发展机遇。我很高兴,分公司的设立对我们支持该地区不断增长的单晶生长和加工行业具有深远的意义!”

----弗莱贝格仪器公司的首席执行官兼创始人Kay Dornich博士

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我们的产品


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MDPmap晶圆片寿命检测仪

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用于研发或生产监控的灵活检测工具

MDPmap是一个紧凑的离线台式检测设备,对生产控制或研发进行无接触电学参数特性检测。可测量参数如载流子寿命、光电导性、电阻率、缺陷信息在稳态或注入范围宽短脉冲励磁(μ-PCD)。自动化的样品识别和参数设置可以方便地适应各种不同的样品,包括在不同的制备阶段,从生长的晶圆片到高达95%的金属化晶圆片的外延片和晶圆片。

MDPmap主要优点是其高度的灵活性,它允许集成最多4个激光器,用于从超低注入到高注入,对依赖于注入水平的少子寿命参数测量,或者使用不同的激光波长提取深度信息。包括偏置光设置以及μ-PCD或稳态注入条件选项。可以使用不同的图谱进行客户定义的计算,也可以导出原始数据进一步评估。对于标准计量任务,可用一个预定义的标准,使常规测量只需按一个按钮。 

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MDPspot单点寿命检测仪









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低成本的台式少子寿命测量系统,对不同制备阶段的硅材料电学参数进行表征。没有内置自动化。可选配手动z轴,用于厚度在156毫米以下的晶锭。MDPspot可配电阻率测试选项。仅适用于硅,用于晶圆片,也可用于晶锭。 结果可视化的标准软件。


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MDPinline晶圆片在线面扫检测仪

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MDPinline是一种用于快速定量测量载流子寿命并集成扫描功能的检测仪。通过工厂安装的传送带将晶圆片移至仪器,在不到一秒的时间内,就可以“动态”测量出晶圆图。

该仪器本身不使用机械运动部件,因此在连续操作下也非常可靠。它为每个晶圆片提供完整的拓扑结构,这为提高生产线的成本效益和效率提供了新的途径,而这些都是迄今为止无可比拟的。例如,在不到3个小时的时间内,对10000个晶圆片的拓扑结构进行自动统计评估,结果可以显示出晶体生长炉的性能和材料质量的各种细节。 

实时的质量检测可以帮助提高和优化诸如扩散和钝化等处理步骤。在运行的生产过程中,MDPinline可以立即检测到某个处理步骤的任何故障,从而使产品达到最高的性能。


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MDPpro晶圆片/晶锭少子寿命检测仪

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根据SEMI标准PV9-1110的非接触式和无损成像(μPCD / MDP(QSS))、光电导性、电阻率和p/n检查。晶圆切割,炉内监控,材料优化等。


日常寿命测量,质量控制和检验

最佳产量:>240块/天或>720片/天

测量速度:对于156x156x400mm标准晶锭,<4分钟

良品率提升:1mm切割标准为156x156x400mm标准晶锭

质量控制:用于过程和材料的质量监控,如单晶硅或多晶硅

沾污检测:起源于坩埚和生产设备的金属(Fe)

可靠性:模块化和坚固耐用的工业仪器,更高可靠性,运行时间> 99%

可重复性:> 99.5%

电阻率:可做面扫描,不需经常校准


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DDCOM 台式晶体定向仪

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平面方向的标记和测量

Omega扫描能够在一次测量中确定完整的晶体方位。因此,平面方向可以直接识别。这是一个有用的功能,以标记在平面方向或检查方向的单位或缺口。

在晶圆片的注入和光刻过程中,平面或凹槽作为定位标记。经过加工后,晶圆片携带数百个芯片,需要通过切割将其分离。

晶片必须正确地对准晶圆片上易于切割的晶格面。因此,检查平台或缺口的位置是必要的。为了确定平面或缺口的位置,必须测量平面内的部件。

该仪器通过旋转转盘,可以将任何平面方向转换成用户指定的特定位置。这简化了将标记应用到特定平面方向的任务,例如必须定义平面方向时。

对于高吞吐量应用程序,可提供自动测量解决方案。


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Omega/Theta X射线衍射仪

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Omega/Theta X射线衍射仪是一个全自动的垂直三轴衍射仪,使用Omega扫描和Theta扫描方法以及摇摆曲线测定各种晶体的方位。大而宽敞的设计可以容纳长达450毫米和30公斤的重量和样品架。

所有的测量都是自动化的,可以通过用户友好的软件界面进行访问。利用Omega扫描,可以在晶体旋转(5秒)中确定完整的晶格方向。Theta扫描更加灵活,但每次扫描只产生一个方向分量。

可以非常精确地确定倾斜角度,使用Theta扫描到0.001°。对于所有其他的晶体方向,精度取决于垂直于表面的角差。

该系统是模块化的,并配备了许多不同的扩展用于特殊目的,如形状或平面的确定,绘图和不同的样品架。样品的倾斜度是通过光学测量来检测的,可以用来校正最终的方向。

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lexsyg research 科研型释光仪

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应用于发光年代测定,材料研究,真实性检测事故剂量,辐射防护,食品辐照固体剂量测定,生物发光等。

模块化设计:可互换的OSL激发单元,可容纳最多4个检测单元和最多2个辐照源

无干扰:测量室和样品池的独立运行确保了没有激发和辐射干扰

不间断运行:当一个样品在测量室内进行分析/处理时,可加载和卸载另一个样品的能力

灵活性:软件可控制在一个测量序列内的检测滤波器的切换

同质性:高度均匀和稳定的光激发提供了相同的测量条件

可访问性:基于IP的系统允许在世界任何地方进行远程操作和技术支持

简单的升级:模块化设计允许通过轻松地添加组件来扩展设备功能


欢迎访问:http://www.promisedayimage.com/netshow/SH104682/ 


联系我们:

400-860-5168转4682


[来源:弗莱贝格仪器]  
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