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喜讯!武汉颐光科技有限公司荣获2019年度湖北省技术发明一等奖

蓝冠信息网 2020/06/25 08:32:01 点击 171 次

     华中科技大学联合武汉颐光科技科技有限公司开发的“高精度宽光谱穆勒矩阵椭偏测量关键技术与纳米测量应用”项目荣获湖北省技术发明一等奖。此奖项由省人民政府设立,经省科学技术奖励评审委员会评审、省科学技术奖励委员会审议,湖北省人民政府决定后最终授予,旨在深入实施创新驱动发展战略,建设创新强省,奖励为省科技事业进步、经济社会发展作出突出贡献的科学技术人员和组织。

   “高精度宽光谱穆勒矩阵椭偏测量关键技术与纳米测量应用”项目所研发的穆勒矩阵椭偏仪代表了椭偏仪技术的最高水平,其研制过程主要面临宽光谱全穆勒矩阵偏振调制技术、穆勒矩阵椭偏测量系统参数精密校准与误差修正技术、复杂纳米结构薄膜椭偏测量理论与方法三个方面的技术挑战,由华中科技大学与武汉颐光科技有限公司历时10余年攻克技术难关,在首批国家重大科学仪器设备开发专项、国家863计划、国家自然科学基金等多个国家级项目支持下,通过原理创新,成功研制出我国第一台具有完全自主知识产权的高精度宽光谱穆勒矩阵椭偏仪,实现了成果转化与产业化。

     穆勒矩阵椭偏仪广泛应用于IC制造、平板显示、光电子器件、光伏太阳能、柔性电子等国家新兴战略产业中的纳米材料、纳米结构与纳米器件的基础科学研究、制造工艺优化、量产在线监测等诸多环节,在填补国内空白具有战略意义。

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[来源:颐光科技]  
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